Na osnovu svojih principa rada, senzori pritiska mogu se kategorizirati u nekoliko tipova, uključujući keramičke kapacitivne, metalne kapacitivne, tankoslojne mjerne mjere, deformatore, silicijumske piezorezistivne, silicijumske kapacitivne i silicijumske rezonantne tipove. Među njima, rezonantni senzori pritiska nude najveću preciznost, postižući preciznost do 0,01% FS u cijelom temperaturnom rasponu (-40 stepeni do 85 stepeni). Zbog svoje izuzetne tačnosti, oni se široko koriste u aplikacijama koje zahtevaju izuzetno visoku preciznost pritiska, kao što su merenje dubine okeana, referentni standardi pritiska, merenje parametara leta aviona i meteorološko praćenje. Razlozi zašto silikonski rezonantni senzori pritiska postižu tako visoko precizno mjerenje tlaka su sljedeći:
1. Osnovna struktura silicijumskog rezonantnog senzora pritiska je simetrični silicijumski rezonator sa dvostrukim-stegnutim stezanjem. Rezonantna frekvencija rezonatora se mijenja s primijenjenim pritiskom. Kako je frekvencija intrinzično svojstvo čvrstih tijela, ona je manje osjetljiva na niske-šume i pokazuje minimalne varijacije s temperaturom. Ovaj prirodni efekat filtriranja rezultira visokim omjerom signala-/{7}}šuma.
2. Dvostruka-konstrukcija rezonatora osigurava da kada rezonator vibrira, neto vanjska sila bude nula. Dodatno, zbog upotrebe MEMS tehnologije anodnog povezivanja, cijeli rezonator radi u vakuumskom okruženju, postižući visok faktor kvalitete.
3. Tokom procesa projektovanja, strukture za ublažavanje naprezanja{1}}ugrađuju se na termički osjetljiva područja rezonatora kako bi se termički stres sveo na minimum. Ovo značajno smanjuje termički stres na rezonatoru.
Proizvodi silikonskog rezonantnog senzora pritiska kompanije Xi'an Mihui Technology postižu visoko{0}}precizno mjerenje pritiska sa tačnošću od 0,01% FS u cijelom temperaturnom rasponu. Nude neuporedivu godišnju stabilnost od 0,01% FS i podržavaju i frekvencijski i RS485 digitalni izlaz. Ovi senzori pokrivaju mjerenja apsolutnog pritiska od 100 kPa do 1 MPa. Specifikacije su sljedeće:
Zainteresovane strane su dobrodošle da nas kontaktiraju putem informacija koje se nalaze na našoj web stranici.
