Senzori pritiska se koriste za merenje pritiska tečnosti i gasova. Uobičajeni tipovi uključuju MEMS silicijumske piezorezistivne senzore pritiska, MEMS silikonske rezonantne senzore pritiska, keramičke kapacitivne senzore pritiska, metalne kapacitivne senzore pritiska, raspršene tankoslojne senzore pritiska i metalne senzore pritiska sa meračem pritiska. Njihovi radni scenariji variraju u zavisnosti od principa rada.
MEMS silikonski piezorezistivni senzor pritiska:Ovo je najčešće korišten tip senzora tlaka. Njegov glavni mjerni opseg pokriva 15 kPa do 100 MPa, sa tipičnom preciznošću u rasponu od 0,05% FS do 3% FS. Opseg radne temperature je tipično -55 stepeni do 180 stepeni. Budući da je kompatibilan s-procesima proizvodnje poluvodiča velikih razmjera, jeftin je. Za mjerenje tekućine potrebna je izolacijska ambalaža napunjena uljem.
MEMS silikonski rezonantni senzor pritiska: Ovaj senzor koristi genijalan dizajn koji pretvara pritisak u promjenu rezonantne frekvencije mikro-snopa. Budući da frekvencija snopa zavisi samo od njegove strukture i temperature, i koristi od efekata filtriranja, ovaj senzor postiže visoku izlaznu tačnost do 0,01% FS. Njegov glavni opseg merenja pritiska pokriva 100 kPa do 40 MPa, sa opsegom radne temperature od -55 stepeni do 85 stepeni. Zbog složene proizvodnje i visoke cijene, pogodan je za aplikacije koje zahtijevaju izuzetno visoku preciznost, kao što je obrada poluvodiča i mjerenje dubine okeana.
Keramički kapacitivni senzor pritiska:Keramički materijal nudi odličnu otpornost na habanje, što ovaj senzor čini pogodnim za mjerenje tlaka u mješavinama pijeska i suspenzije. Takođe pruža dobru otpornost na koroziju, omogućavajući merenje korozivnih tečnosti poput sumporne kiseline. Osim toga, keramički senzori pritiska mogu izdržati smrzavanje vode-što nije moguće postići sa MEMS senzorima.
Metalni kapacitivni senzor pritiska:Ovaj senzor koristi metalnu dijafragmu kao pokretnu elektrodu osjetljivu na pritisak, formirajući kondenzator s fiksnom elektrodom. Kada pritisak deluje na dijafragmu, kapacitivnost između elektroda se menja, uspostavljajući odnos pritisak-kapacitivnost. Metalne membrane mogu biti napravljene od materijala otpornih na koroziju, kao što je Inconel, i mogu mjeriti vrlo niske pritiske (0–1/10/100/1000 Torr). Shodno tome, ima široku primenu u merenju vakuuma i merenju specijalnih gasova u industriji poluprovodnika.
SputteredThin-filmSenzor tlaka i metalni mjerač pritiska Senzor tlaka:Oba senzora imaju materijal-osjetljiv na silu presvučen na veliku metalnu površinu, što proizvod čini robusnim i izdržljivim. Pogodni su za opsege visokog pritiska i aplikacije koje zahtevaju visoku pouzdanost, kao što su žuta roba, dizel motori i mašine za bušenje tunela. Ove senzore nije lako proizvesti u senzor apsolutnog pritiska i obično mogu pokriti maksimalne opsege do 200 MPa ili više. Prva slika iznad prikazuje jezgro senzora od tankog{5}}filmskog rasprskavanja, dok druga slika prikazuje metalno jezgro mjerača naprezanja.
Odabir senzora tlaka mora se temeljiti na stvarnim radnim uvjetima kako bi se u potpunosti iskoristile njegove performanse. Mihui Technology je specijalizovana za senzore pritiska zasnovane na različitim principima, nudeći kompletan dizajn, proizvodnju i proizvodne mogućnosti kako bi kupcima pružili najprikladnija rešenja. Dobrodošli da nas kontaktirate ako ste zainteresovani:Broj telefona: +8618066965135; E-pošta: mihuitec@gmail.com
