Tehnologija mjerenja vakuuma je kritična komponenta vakuumske nauke i tehnologije, sa sve većim zahtjevima kako u sektoru odbrane tako iu civilnom sektoru. Posebno je važno precizno mjerenje vakuumskog pritiska. Vakum mjerači se široko koriste u industrijskoj proizvodnji, poluvodičkoj opremi, nuklearnoj industriji i drugim poljima. Svjetski poznati proizvođači vakuum mjerača uključuju MKS Instruments i INFICON. Postoje dvije uobičajene vrste vakuum mjerača zasnovanih na principima rada: jedan je metalni kapacitivni vakuum mjerač, predstavljen MKS-ovim tehničkim pristupom, a drugi je keramički kapacitivni vakum mjerač, predstavljen tehničkim pristupom INFICON-a. Općenito, metalni kapacitivni vakuum mjerači nude bolje performanse od keramičkih kapacitivnih modela, što ih čini široko prihvaćenim.
Osjetni element metalnog kapacitivnog vakuum mjerača sastoji se od kapacitivne strukture formirane od metalne dijafragme debljine približno 40 μm i keramičke elektrode. Kao što je prikazano na gornjim slikama, metalna dijafragma se rasteže velikom silom zatezanja prije zavarivanja, stvarajući strukturu sposobnu izdržati pritiske preopterećenja do stotine puta veće od nominalnog raspona. Kada se vakuumski pritisak primeni na dijafragmu, ona se deformiše, menjajući kapacitivnost između elektrode metalne membrane i keramičke elektrode. Mjerenjem ove promjene kapacitivnosti i kalibracijom prema standardnim referentnim vrijednostima vakuumskog tlaka, može se odrediti apsolutna vrijednost vakuuma. Da bi se poboljšala tačnost mjerenja, u šupljinu se postavlja getter.
Xi'an Mihui Technology Co., Ltd. je samostalno razvio VG750 vakuum mjerač, postižući performanse uporedive sa MKS i INFICON proizvodima. Pokriva raspon mjerenja od 1 Torr do 1000 Torr i široko je prihvaćen u serijskim primjenama u poluvodičkoj i nuklearnoj industriji. Njegove specifikacije performansi su navedene u tabeli ispod. Zainteresovani su dobrodošli da nam se jave radi probne upotrebe.
Za više informacija posjetite našu web stranicu:mihuitec.com, ili pogledajte stranicu proizvoda: Kina VG750 Metal Kapacitivna dijafragma mjerač Proizvođači Dobavljači Tvornica - Ponuda - Mihui Tech.
